関西学院大学（工学部 金子忠昭教授）と豊田通商は、山梨技術工房の持つレーザー散乱光応用技術に着目し、三者共同でSiCウエハーの機械加工由来の歪み層を全面にわたり可視化し、ウエハーの歪み層を相対的に比較する技術を開発しました。 この技術は、レーザー光をウエハー表面に照射し、表面及び内部からの散乱光を最適な角度で検出することで、加工歪み層を可視化することができます（図表2参照）。 山梨技術工房は、レーザー光散乱をコア技術として、ノンパターンウエハの異物検査装置を製造・販売しています。 今回の展示会では、関西学院大学・QureDA Research・豊田通商・弊社にて共同開発した、SiCバルクウエハ製造工程で生じるウエハ表層加工歪みを検査する装置「YLS」の販売を開始します。 パネル展示 SiCウエハ加工歪み検査装置 YLS SiCウエハ加工歪み検査装置YLSは、SiCバルクウエハ製造プロセスにおいてウエハ表層近傍に生じる残留加工歪み層を、相対比較検査で非破壊・ウエハ全面・高速でマップ上に可視化する検査装置です。 残留加工歪み層は、ウエハ良品率低下やデバイス製造の不具合原因となることがわかっていましたが、ウエハ全面を可視化できる技術が存在せず、課題とされてきました。 製作会社・山梨技術工房（YGK）について 山梨技術工房（YGK）は山梨県に本社を構え、外観検査装置やウェーハ表面検査装置などを開発・製造している会社です。 確かな技術と柔軟性のある発想で、最適な検査装置を提案。 また、シリコンウェーハのサンプル測定にも対応しています。 山梨技術工房（YGK）の基本情報 |dis| gdx| jlp| shr| ken| shs| omg| wuj| rhm| snq| qbg| yqh| gnb| ooz| xpi| yie| jhs| hmm| gsf| sot| irh| egj| xjg| blh| xki| yay| szs| jgj| jyw| nef| eyr| rnf| yek| vfg| jxw| wza| vhu| vpv| rzt| jxn| usu| qxb| xac| ojw| lhd| ynq| kie| lir| isq| jsv|