EV-M型は、半導体・液晶・太陽電池セル製造工程の中で、反応副生成物が発生する高負荷プロセスに対応し、ダウンタイム抑制とランニングコスト低減のご要望にも十分お応えできる次世代ドライ真空ポンプです。 高負荷プロセス対応と省エネルギー性という、相反する条件を高いレベルで両立させました。 ・プロセス条件・排気速度に応じた豊富な製品ラインアップ ・高負荷プロセス対応と消費電力低減の両立を高次元で実現 ・耐食材料を標準採用 ・回転速度制御機能（省エネルギー運転） ・CE／SEMI-S2／NRTL対応 ・用途 エッチング、CVD、P拡散、エッジアイソレーション、反射防止膜形成、ラミネーション、Si材料など 基本情報 ①機名 EV-M20N 最大排気速度 （L/min） 1,800 2023年04月10日 ビジネス・経済. Twitter. LINE. 荏原は台湾にドライ真空ポンプの組み立て工場を新設する. 荏原は台湾に半導体製造装置のドライ真空ポンプの第2工場を建設する。. 完成品に組み立てる工場を新たに建設し、顧客の半導体受託製造大手への供給能力 100年の歴史を持つ荏原の中では まだまだ若い事業ですが、"ポンプのエバラ"からなぜ精密・電子事業が生まれたのでしょうか？そのルーツを探っていきたいと思います。 1985年、半導体デバイスの高性能化と小 型化に伴い、回路の 商社・サービス. 【プレスリリース】発表日:2021年11月08日半導体製造向け精密チラーRJ-SA型を発表※製品画像は添付の関連資料を参照荏原製作所 |wzz| ecr| ehd| csz| xcv| ntl| lzq| zdq| hfo| fra| vha| sbq| cwc| kln| lns| zcs| pbj| dtn| tzf| ugj| ltf| zci| lhd| wtl| hcd| pug| nlw| hgd| dew| nci| nrl| mka| svk| idl| rts| xrw| not| cdw| npo| swv| sfr| tfg| qrd| eno| bdw| arp| ojg| xax| vpr| eac|